Plasma

pvaTepla IoN Serie

RF- Plasma Systeme

Die Plasmasysteme der IoN Serie werden zur Reinigung, Beschichtung oder chemischen Modifikation von Oberflächen eingesetzt.

Die IoN Serie ist erhältlich in verschiedenen Ausführungen. Es sind sowohl Serienanlagen als auch Anlagen in kundenspezifischer Ausführung erhältlich.

Die Systeme sind mit verschiedenen Kammergrößen und Ausstattungsvarianten, wie Drehtrommeln, verfügbar.

Am häufigsten kommen RF-Generatoren mit einer Frequenz von 13,56 MHz zum Einsatz. Erhältlich sind außerdem 40 kHz und 100 kHz Frequenzen.

pvaTepla IoN Serie

pvaTepla GIGA

Mikrowellen Plasma, GIGAbatch, GIGA690 oder GIGAfab Serie

Das Mikrowellenplasma ist ideal z.B. zum Entfernen von Fotolacken in der modernen Bauelementherstellung.

Das MW- Plasma produziert eine sehr hohe Konzentration chemisch reaktiver Elemente bei gleichzeitig niedriger Ionenbeschuss- Energie und liefert damit eine schnelle Aschenrate und einen beschädigungsfreien Plasmaprozess.

Anwendungen

  • Entfernen von Fotolack nach der Implantation oder dem Trockenätzen
  • Wafer und Substratreinigung von organischen Rückständen
  • Geeignet für verschiedene Substrat Technologien wie Silizium, III / V-Verbindungen, Quarz, Keramik, Lithiumniobat etc.
pvaTepla GIGA

pvaTepla Plasma Pen

Plasma Pen / Robo Pen

Der PlasmaPen™ ist ein patentiertes Atmosphären-Plasmagerät zur Behandlung von Oberflächen.

Es produziert ein sehr dichtes Plasma mit einem sehr niedrigen Aufheizeffekt, was den Vorteil hat, dass auch sehr empfindliche Bauteile, unter anderem Kunststoffe mit einem niedrigen Schmelzpunkt, plasmabehandelt werden können.

pvaTepla Plasma Pen

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