Hot Plate & Cool Plate Module

SÜSS MicroTec CP8

Die Cool-Plate von SÜSS MicroTec bietet nach dem Ausheizen des Fotolacks ein schnelles Abkühlen der Substrate auf eine definierte Temperatur.

Sie ist speziell für die Forschung & Entwicklung und Kleinserienproduktion konzipiert.

Features

  • Für Substratgrößen bis zu 200 mm Durchmesser
  • Lift-Pins zum einfachen Be- und Entladen
  • Intuitive Programmführung und Bedieneroberfläche
  • Tisch- oder Standgerät

SÜSS MicroTec HP8

SÜSS MicroTecs Hot-Plate ist speziell für die Forschung & Entwicklung und Kleinserienproduktion konzipiert und besticht durch die intuitive Programmführung und einfache Handhabung.

Lift-Pins ermöglichen ein einfaches Be- und Entladen. Die Start-/Stopp-Automatik sorgt für stabile Prozessergebnisse mit einer sehr guten Wiederholgenauigkeit.

Features

  • Für Substratgrößen bis zu 200 mm Durchmesser
  • Intuitive Programmführung und Bedieneroberfläche
  • Lift-Pins zum einfachen Be- und Entladen
  • Prozesszeit, -temperatur und Aufheizrampen programmierbar als Rezeptparameter
  • Quickstart-Funktion
  • Tisch- oder Standgerät
SÜSS MicroTec HP8

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