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Après les brillants résultats commerciaux du passé, Toho et KLA-Tencor ont introduit ce système de mesure des contraintes dans le cadre d'un accord de transfert de technologie.
Cet appareil:
- Garantit des mesures précises des contraintes dans toutes sortes de couches et de substrats
- Analyse avec précision les contraintes de surface sur les couches minces déposées par évaporation
- Convient idéalement à la recherche et au développement
- Contribue à résoudre les problèmes de fissures dans la métallisation et le diélectrique, de pores et de décollement
- Est équipé d'un corps de chauffe pour contrôler les contraintes aux températures élevées
- Est livré en option avec un module réfrigérant pour analyser les caractéristiques des coches dans une gamme de températures de -65° à 500°
Il peut fonctionner dans une atmosphère contrôlée d'azote ou d'argon pour prévenir les effets de l'oxydation et de l'humidité.
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