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Basierend auf dem guten Geschäftserfolg der Vergangenheit, haben Toho und KLA-Tencor im Rahmen eines Technologietransfers dieses Stressmessungs-System auf den Markt gebrach.
Das System:
- Gewährleistet akkurate Stressmessung auf diversen Filmen und Substraten
- Analysiert präzise den Oberflächenstress an aufgedampftem Dünnfilm
- Ist ideal für Forschungs- und Entwicklungsumgebungen geeignet
- Hilft, Probleme wie metallische und dielektrische Rissbildung, Poren und Abhebungen zu beheben
- Ist mit einem Heizelement für das Stressmonitorinig bei höheren Temperaturen ausgerüstet
- Wird optional mit Kühleinheit ausgeliefert, mit Hilfe derer man die Filmeigenschaften bei Temperaturen -65° bis 500° analysieren kann
- Eine kontrolliert Atmosphäre unter Stickstoff oder Argon ist möglich, um Oxidationen und Feuchtigkeitseffekte auszuschliessen
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