Cascade Microtech bietet Systemlösungen für DC- oder HF-Messungen auf Wafern oder Substraten. Die Prober sind für die Fehleranalyse und die Device Charakterisierung geeignet.
Bei den folgenden Systemen handelt es sich um Systembeispiele aus einer Vielzahl von Möglichkeiten:
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Zum Proben von einzelnen Dies bis zu 300 mm Wafern. Das EP6 DC Probing-System ist eine konsteneffiziente Lösung für hochpräzise DC-Messungen, wie einfache I-V und C-V Messungen sowie On-Wafer Fehleranalyse. Das Paket enthält vier PH110 Präzisions-Probehead-Manipulatoren, Probes und Kabel. Die Low-Signal-Option beinhaltet triaxiale Messfunktionen und den "ShieldEnclosure™" SE750 für sensitive Messungen im fA-Bereich. Zusätzlich ist eine Video-Option für die verbesserte Wafernavigation erhältlich. |
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Bei dem EP6 HF-Proberpaket handelt es sich um eine kosteneffiziente Lösung for hochpräzise S-Parameter-Messungen. Das Set enthält the bewährten langlebigen |Z| Probes®, die professionelle SussCal® Kalibrationssoftware und ein CSR Kalibrierungssubstrat. Dies gewährleistet höchste Messpräzision und Wiederholbarkeit. |
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Die halbautomatische Probestation PA200 ist seit langer Zeit das Referenzmodell im Marktumfeld der analytischen Probing-Lösungen. Das Probesystem basiert auf einer hochpräzisen Konstruktion, um stabile Bedingungen für anspruchsvolle Applikationen zu gewährleisten. Aufgrund der hohen Stabilität und Präzision der Probestation, ist der PA200 prädestiniert für Fehleranalysen, Bauteilcharakterisierung und die Modellierung von Bauteilen von DC bis 325 GHz. Zusätzlich ist die Stabilität und Genauigkeit der Messapparatur geeignet für einen Einsatz als Testfeld für Optoelektronik (LEDs) und MEMs. |
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Cascade war der erste Hersteller von Wafertest-Systemen, welcher eine 300mm Probestation anbieten konnte. Konsequente Forschungs- und Entwicklungstätigkeit ergaben ein hochpräzises Probesystem. Seien es die Fehleranalyse oder die Bauteilcharakterisierung, der PA300 ist die Lösung für das Testen von Bauteilen von DC bis 325 GHz. |
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Eine ganze Palette von Prober-Zubehör rundet das Angebot ab:
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