SÜSS MicroTec MA12
SÜSS MicroTec MA12
Aligneur de masques manuel pour la recherche industrielle et pour une production économique
Le MA12 a été conçu pour l’orientation et l’exposition de galettes et de substrats angulaires d’une taille allant jusqu’à 300 mm, et il est utilisable aussi bien dans la recherche industrielle que dans la production. Équipé de solutions pour une commande des processus et une manipulation flexibles, l’appareil s’adresse aussi bien aux applications d’Advanced Packaging (conditionnement d’avant-garde), parmi lesquelles le 3D-Wafer-Level-Chip-Scale-Packaging, qu’au développement et à la production de composants sensibles, les MEMS par exemple.
Points forts
- Contrôle clair des processus
- Manipulation fiable de galettes cintrées et de matériaux sensibles
- Excellente uniformité de lumière
