HMx-Serie

Nettoyage spécialisé pour les masques photolithographiques

La solution optimale pour la R&D et la production en petites séries de substrats complexes : la série HMx offre un traitement de haute qualité des substrats et des fonctions de nettoyage spécialisées pour les masques photolithographiques, l’optoélectronique, les OLED et les applications spécifiques de la finition des semi-conducteurs, le tout dans un boîtier petit et compact.
Conception compacte pour salle blanche et flexibilité exceptionnelle : la série HMx combine des fonctions de développement, de gravure et de nettoyage de pointe avec une gestion complète des substrats. Le chargement manuel associé à des étapes de processus automatisées garantit une fiabilité éprouvée, tandis que des commandes modernes et des techniques de nettoyage avancées offrent une sécurité maximale pour les substrats sensibles.
Grâce à des technologies innovantes de dosage et de nettoyage, la série HMx fournit des résultats constants et sans défaut. Sa conception modulaire prend en charge plusieurs options de processus et permet une adaptation à différentes applications et à des exigences strictes en matière d’uniformité, tant pour les projets pilotes que pour la production en petites séries.