pvaTepla IoN Serie

RF- Plasma Systeme

Die Plasmasysteme der IoN Serie werden zur Reinigung, Beschichtung oder chemischen Modifikation von Oberflächen eingesetzt.

Die IoN Serie ist erhältlich in verschiedenen Ausführungen. Es sind sowohl Serienanlagen als auch Anlagen in kundenspezifischer Ausführung erhältlich.

Die Systeme sind mit verschiedenen Kammergrößen und Ausstattungsvarianten, wie Drehtrommeln, verfügbar.

Am häufigsten kommen RF-Generatoren mit einer Frequenz von 13,56 MHz zum Einsatz. Erhältlich sind außerdem 40 kHz und 100 kHz Frequenzen.