Automatisiertes Fotomasken-System

Die erste Wahl der Industrie: MaskTrack Smart BD kombiniert Spitzentechnologie, maximale Ausbeute und außergewöhnliche Vielseitigkeit und liefert erstklassige Ergebnisse im gesamten Bereich des Backens und Entwickelns.
MaskTrack Smart BD setzt neue Maßstäbe in der modernen Lithografie. Intelligente Automatisierung, modulare Anpassung und herausragende Leistung gewährleisten optimale Ergebnisse, hohe Vielseitigkeit und eine zuverlässige Produktion mit hoher Ausbeute von bis zu 32-nm-Masken nach Industriestandards in einer einzigen Plattform.
Lagerung, Handhabung oder Verarbeitung von Masken: MaskTrack Smart BD gewährleistet eine hochkomplexe Fotomaskenherstellung mit hoher Produktintegrität im industriellen Maßstab in einer vollständig kontrollierten und extrem sauberen Umgebung.
Produktion in einer Klasse 2 zertifizierten Umgebung: Spezielle physikalische und nasschemische Reinigungsverfahren entfernen effektiv Partikel und Verunreinigungen und sorgen für ultrasaubere Bedingungen gemäß DIN EN ISO 14.644. Intelligente Prozesse gewährleisten die Integrität der Fotomasken bis hinunter zu 1x nm Halfpitch mit 90 nm Rückwärtskompatibilität.