MaskTrack SmartBD

Système automatisé de masques photographiques

Le choix numéro un de l’industrie : MaskTrack Smart BD allie une technologie de pointe, un rendement maximal et une polyvalence exceptionnelle, offrant des résultats de premier ordre tout au long du processus de cuisson et de développement.
MaskTrack Smart BD établit de nouvelles références en lithographie moderne. Automatisation intelligente, personnalisation modulaire et performances exceptionnelles garantissent des résultats optimaux, une grande polyvalence et une production fiable avec un rendement élevé pouvant atteindre des masques de 32 nm conformes aux normes industrielles, le tout sur une seule et même plateforme.
Stockage, manipulation ou traitement des masques : MaskTrack Smart BD garantit une fabrication de photomasques hautement complexe avec une intégrité élevée des produits à l’échelle industrielle, dans un environnement entièrement contrôlé et extrêmement propre.
Production dans un environnement certifié de classe 2 : des procédés de nettoyage physiques et chimiques humides spécialisés éliminent efficacement les particules et les impuretés et garantissent des conditions d’ultrapropreté conformes à la norme DIN EN ISO 14.644. Des processus intelligents garantissent l’intégrité des photomasques jusqu’à un demi-pas de 1 nm avec une rétrocompatibilité de 90 nm.