MA300 Gen3 Mask Aligner

Aligneur de masques entièrement automatique

Le MA300 Gen3 est le produit phare de la gamme d’aligneurs de masques SUSS pour les plaquettes de 200 mm et 300 mm. Conçu pour le conditionnement avancé, il combine un alignement submicronique avec des options flexibles pour les faces supérieure et inférieure ainsi que l’infrarouge. Des TSV aux RDL en passant par le bumping, il offre une grande précision et un débit élevé pour le traitement d’applications à résine épaisse qui dépassent les capacités des steppers.

Le MA300 Gen3 allie rentabilité, précision submicronique et grande flexibilité de processus. Une lithographie de proximité éprouvée, un alignement avancé et une manipulation automatisée garantissent le rendement et la productivité pour les usines à haut volume ainsi que pour les environnements de R&D exigeants.

Conçu pour le packaging de pointe, le MA300 Gen3 tire ses performances de la précision DirectAlign®, de la technologie MO Exposure Optics® et de modes d’alignement flexibles. Grâce à sa capacité robuste en couches épaisses, il offre la base technique nécessaire pour obtenir des résultats stables et reproductibles sur un large spectre de processus.