Allineatore di maschere completamente automatico

Il MA300 Gen3 è il modello di punta della gamma di allineatori di maschere SUSS per wafer da 200 mm e 300 mm. È stato sviluppato per l’Advanced Packaging e combina una regolazione submicrometrica con opzioni flessibili per il lato superiore, il lato inferiore e l’infrarosso. Dai TSV agli RDL e al bumping, offre un’elevata precisione e un’elevata produttività nella lavorazione di applicazioni con resina spessa che vanno oltre le capacità degli stepper.

L’MA300 Gen3 combina efficienza dei costi, precisione submicrometrica ed elevata flessibilità di processo. La collaudata litografia di prossimità, l’allineamento avanzato e la movimentazione automatizzata garantiscono rendimento e produttività sia per gli stabilimenti ad alto volume che per gli ambienti di R&S più esigenti.

L’MA300 Gen3 è stato sviluppato per il packaging avanzato e offre le sue prestazioni grazie alla precisione DirectAlign®, alle ottiche MO Exposure Optics® e alle modalità di allineamento flessibili. Con la sua robusta capacità di lavorare con strati spessi, fornisce la base tecnica per risultati stabili e riproducibili su un ampio spettro di processi.