DSC300 Gen3

Scanner à projection

Le DSC300 Gen3 est la solution entièrement automatisée et à haut débit proposée par SUSS pour la lithographie par projection dans le domaine de l’emballage avancé sur des plaquettes de 300 et 200 mm. Grâce aux technologies de balayage propriétaires de l’entreprise, il allie hautes performances, rentabilité et grande flexibilité de processus.

L’exposition pleine surface et le balayage propriétaire garantissent un transfert précis des motifs et des résultats de processus constants. Des optiques et des configurations réglables prennent en charge une large gamme d’applications d’encapsulation avancées et offrent une alternative rentable à la lithographie par stepper.

Basé sur l’optique avancée Wynne-Dyson, le DSC300 Gen3 offre une imagerie précise, un alignement robuste et une manipulation flexible du substrat. Cela garantit la précision, le rendement et l’adaptabilité nécessaires pour l’encapsulation au niveau de la plaquette, le fan-out et l’intégration 2,5D/3D.