Sistema automatizzato per maschere fotografiche

La scelta numero uno del settore: MaskTrack Smart BD combina tecnologia all’avanguardia, massima resa e straordinaria versatilità, garantendo risultati eccellenti in tutte le fasi di cottura e sviluppo.
MaskTrack Smart BD definisce nuovi standard nella litografia moderna. Automazione intelligente, personalizzazione modulare e prestazioni eccezionali garantiscono risultati ottimali, elevata versatilità e una produzione affidabile con un’elevata resa di maschere fino a 32 nm secondo gli standard industriali in un’unica piattaforma.
Stoccaggio, movimentazione o lavorazione delle maschere: MaskTrack Smart BD garantisce una produzione di fotomaschere altamente complessa con elevata integrità del prodotto su scala industriale in un ambiente completamente controllato ed estremamente pulito.
Produzione in un ambiente certificato Classe 2: speciali processi di pulizia fisica e chimica a umido rimuovono efficacemente particelle e impurità e garantiscono condizioni di estrema pulizia secondo la norma DIN EN ISO 14.644. Processi intelligenti garantiscono l’integrità delle fotomaschere fino a un half-pitch di 1 nm con retrocompatibilità a 90 nm.