Piattaforma per la lavorazione di fotomaschere

Ottimizzate la resa e la qualità: la serie ASx è la piattaforma completamente automatizzata per la lavorazione di fotomaschere, progettata per processi avanzati di cottura, rimozione e pulizia del resist e sviluppo su wafer da 250 nm a 65 nm in un unico sistema.

La serie ASx combina una precisione leader del settore con la massima affidabilità e prestazioni per affrontare le sfide critiche della lavorazione senza errori delle maschere esposte con litografia a 248 nm e 193 nm. Il tutto con un’efficienza di pulizia eccezionale e costi operativi senza pari.

La serie ASx offre prestazioni tecniche senza compromessi grazie al controllo intelligente della temperatura, all’ottimizzazione automatizzata dei processi e alle tecnologie di sviluppo che riducono al minimo i difetti, trasformando la complessa lavorazione delle fotomaschere in risultati costanti e leader del settore.