ASx Serie

Plateforme de traitement des masques photographiques

Optimisez le rendement et la qualité : la série ASx est une plateforme entièrement automatisée destinée au traitement des masques photographiques pour les processus avancés de cuisson, de décapage et de nettoyage de la résine photosensible, ainsi que de développement, sur des plaquettes de 250 nm à 65 nm, le tout dans un seul système.
La série ASx allie une précision de pointe à une fiabilité et des performances maximales pour relever les défis critiques du traitement sans défaut des masques exposés par lithographie à 248 nm et 193 nm. Le tout avec une efficacité de nettoyage exceptionnelle et des coûts d’exploitation inégalés.
La série ASx offre des performances techniques sans compromis grâce à un contrôle intelligent de la température, à l’optimisation automatisée des processus et à des technologies de développement minimisant les défauts, qui transforment le traitement complexe des masques photographiques en résultats cohérents et de pointe.