pvaTepla GIGA

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Plasma micro-ondes série GIGAbatch, GIGA690 ou GIGAfab

Le plasma micro-ondes est idéal, par exemple pour l’élimination de laques photographiques dans la fabrication de composant moderne.

Le plasma micro-ondes produit une très forte concentration chimique d’éléments réactifs pour une faible énergie par bombardement ionique, ce qui se traduit rapidement par une concentration en cendre et un procédé de plasma sans dommage.

Applications

• Élimination de laques photographiques après l’implantation ou la méthode sèche
• Nettoyage de disque et support de laque présentant des résidus organiques

Adapté aux différentes technologies de substrat, par exemple le silicium, les composés III-V, le quartz, la céramique, le niobate de lithium etc.