SÜSS MicroTec – série Gen4 MA/BA
SÜSS MicroTec – série Gen4 MA/BA
Plateforme d’alignement compacte pour laboratoires et production de petites séries
La série Gen4 MA/BA de SÜSS MicroTec est la toute dernière génération des aligneurs semi-automatiques de masques et de bonding s’accompagnant également du lancement d’un nouveau système de plateforme. La nouvelle plateforme diffère dans sa configuration. Elle est composée du modèle standard, de la série Gen4 MA/BA et du modèle élargi, la série Pro Gen4 MA/BA, pour des processus d’avant-garde de haut niveau.
Le modèle de base est disponible en MA/BA6 Gen4 et en MA/BA8 Gen4. Avec sa conception ergonomique et conviviale, son rapport coût-efficacité et son faible encombrement, l’aligneur de masques et de bonding est prédestiné à une utilisation dans le secteur académique et dans la production de petites séries.
La série Gen4 MA/BA de SÜSS MicroTec définit des références et critères nouveaux dans la lithographie plein champ, dans les secteurs de la recherche académique, des MEMS & NEMS (microsystèmes électromécaniques et systèmes électromécaniques nanométriques), de l’intégration 3D et des semi-conducteurs de connexion. Par ailleurs, des processus tels que le Bond Alignment (alignement-bonding), le bonding par fusion, de même que le SMILE Imprint (empreinte SMILE), sont pris en charge. Les processus qui ont été développés sur la série Gen4 MA/BA peuvent être rapidement transférés à des aligneurs de masques automatisés pour la production de grands volumes.
Points forts :
- Excellents résultats des processus
- Grande convivialité
- Coût de possession réduit
- Ergonomie améliorée
- Encombrement réduit
- Microscopes Face-to-Face (face à face)
