Anlage zur Herstellung von Stempeln

Die Anlage der Serie NIL-SFT 12 ermöglicht die schnelle und präzise Herstellung von hochauflösenden Imprint-Stempeln mit hervorragender Strukturierungsgenauigkeit. In Verbindung mit den Anlagen / Maschinen von SUSS bietet die NIL-SFT12-Serie eine skalierbare Nanoimprint-Fertigung, hohe Overlay-Genauigkeit, enge CD-Kontrolle und niedrige Kosten pro Stempel. Sie sind für die Produktion konzipiert und gewährleisten eine hohe Ausbeute und eine nahtlose Integration in industrielle Imprint-Workflows.

Die NIL-SFT12-Serie ermöglicht eine erhebliche Verkürzung der Verarbeitungszeit. Dank optimierter UV-Bestrahlungsstärke und hervorragender Lichtgleichförmigkeit über die gesamte Belichtungsfläche wird die Verarbeitungszeit von Stunden auf Minuten reduziert. Das System wurde für die Kompatibilität mit einer breiten Palette von UV-härtbaren Materialien entwickelt und gewährleistet eine hohe Prozessstabilität, minimiert die Fehlerbildung und unterstützt die reproduzierbare Herstellung von Stempeln in hoher Qualität.