MA12 Gen3 Mask Aligner

Aligneur de masques semi-automatique et système d’impression

Le MA12 Gen3 est un aligneur de masques semi-automatique pour des plaquettes allant jusqu’à 300 mm, qui combine une lithographie éprouvée avec un traitement d’impression de pointe. Il offre une exposition économique, une grande précision de superposition et une flexibilité de processus pour les MEMS, le conditionnement avancé et la R&D.

Le MA12 Gen3 offre des fonctionnalités de lithographie polyvalentes adaptées aussi bien à la recherche et au développement industriels qu’aux environnements de production de moyenne à grande échelle. Sa conception compacte permet de gagner de la place en salle blanche, tandis que son utilisation intuitive simplifie la mise en œuvre. L’aligneur de masques est équipé de la toute dernière technologie de SUSS et garantit des résultats stables et de haute qualité, ainsi que des fonctionnalités améliorées pour les processus standard, avancés et haut de gamme.

Le MA12 Gen3 optimise le rendement et garantit des résultats reproductibles, même dans des conditions difficiles. Du nivellement amélioré et de l’optique d’exposition MO à la gestion spécifique des plaquettes déformées et des matériaux sensibles, chaque caractéristique est conçue pour garantir fiabilité et performance.