UV-SFT Serie

Système de fabrication de matrices

La série UV-SFT est le système compact de SUSS destiné à la fabrication rapide et précise de matrices de haute qualité pour la lithographie par micro- et nano-impression. Conçue pour compléter les aligneurs de masques de la série MA/BA Gen4, elle offre des résultats constants pour la recherche et le développement ainsi que pour la production en grande série dans les domaines des LED, des MEMS/NEMS, de la micro-optique, de la RA et des capteurs optoélectroniques.

Accélérez la fabrication de matrices grâce à un durcissement UV-LED puissant et réduisez les temps de processus de plusieurs heures à quelques minutes : la série UV-SFT offre une uniformité lumineuse exceptionnelle qui garantit une qualité constante, tandis que la compatibilité avec divers matériaux durcissables aux UV et un système de dosage en napes en option réduisent le gaspillage et augmentent la fiabilité du processus.