Anlage für die Herstellung von Stempeln

Die UV-SFT-Serie ist die kompakte Anlage von SUSS für die schnelle und präzise Herstellung hochwertiger Stempel für die Mikro- und Nanoimprint-Lithografie. Sie wurde als Ergänzung zu den Mask-Alignern der Serie MA/BA Gen4 entwickelt und liefert konsistente Ergebnisse für Forschung und Entwicklung sowie für die Großserienfertigung in den Bereichen LEDs, MEMS/NEMS, Mikrooptik, AR und optoelektronische Sensoren.

Beschleunigen Sie die Herstellung von Stempeln mit leistungsstarker UV-LED-Härtung und verkürzen Sie die Prozesszeiten von Stunden auf Minuten: Die UV-SFT-Serie bietet eine außergewöhnliche Lichtgleichförmigkeit, die eine gleichbleibende Qualität sicherstellt, während die Kompatibilität mit verschiedenen UV-härtenden Materialien und ein optionales Dosiersystem für Pfützen den Abfall reduzieren und die Prozesssicherheit erhöhen.