Impianto per la produzione di matrici

La serie UV-SFT è l’impianto compatto di SUSS per la produzione rapida e precisa di matrici di alta qualità per la litografia a micro e nanoimpronta. È stata sviluppata come complemento agli allineatori di maschere della serie MA/BA Gen4 e fornisce risultati costanti sia per la ricerca e lo sviluppo che per la produzione in serie su larga scala nei settori dei LED, MEMS/NEMS, microottica, AR e sensori optoelettronici.

Accelerate la produzione di stampi con la potente polimerizzazione UV-LED e riducete i tempi di processo da ore a minuti: la serie UV-SFT offre un’eccezionale uniformità della luce che garantisce una qualità costante, mentre la compatibilità con diversi materiali induribili con raggi UV e un sistema di dosaggio opzionale per pozzetti riducono gli scarti e aumentano l’affidabilità del processo.